T1200-250T3 均溫氧化擴(kuò)散爐

均溫氧化擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。

河南諾巴迪材料科技有限公司是集研究?開(kāi)發(fā)?制造?經(jīng)營(yíng)為一體的科技創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布亞歐美，覆蓋國(guó)內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室，成為受客戶歡迎和信任的品牌之一。

均溫氧化擴(kuò)散爐設(shè)備特點(diǎn)：
1.溫場(chǎng)均勻，恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：300～1250mm  800~1200℃±1℃
2.具有強(qiáng)大的軟件功能，NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件； 
3.程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)工作，在停電或中途停機(jī)后，再次啟動(dòng)可以根據(jù)工藝手動(dòng)升溫，節(jié)省工藝時(shí)間； 
4.具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇； 
5.冷端檢測(cè)環(huán)境溫度進(jìn)行溫度補(bǔ)償，避免環(huán)境溫度變化，對(duì)爐膛溫度產(chǎn)生影響，避免層間干擾； 
6.可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能，具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
7.氣體流量采用數(shù)字化精確控制，采用模擬信號(hào)閉環(huán)控制，強(qiáng)弱電分開(kāi)，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開(kāi)具有緩啟動(dòng)功能； 
8.具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能；
9.恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整，串級(jí)控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度； 
10.壓力自動(dòng)調(diào)整技術(shù)，將壓力參數(shù)引入晶體硅氧化工藝，有效減小了尾部排風(fēng)對(duì)工藝的干擾，減小由排風(fēng)引起的工藝波動(dòng)。
均溫氧化擴(kuò)散爐設(shè)備參數(shù)：

型號(hào)	T1200-250T3均溫爐氧化擴(kuò)散
可配工藝管外徑	爐管外徑152mm   適用于3＂；爐管外徑252mm   適用于6＂； 爐管外徑300mm   適用于8＂
溫度控制范圍	300~1150 ℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度	300～1250mm（依客戶要求定）  300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃
可控升降溫速率	升溫速率：≦15℃/min  降溫速率≦5℃/min
加熱區(qū)個(gè)數(shù)	3區(qū)，4區(qū)，5區(qū)，6區(qū)（依客戶要求定）
送料方式	手動(dòng)送料
冷卻系統(tǒng)	水冷2-4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排風(fēng)冷≈25m3/min；

均溫氧化擴(kuò)散爐服務(wù)支持：一年有限保修，提供終身支持。
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