產(chǎn)品簡介
Aera FC-7800 系列MFC提供的流量控制以佳的抗阻性能和超高防漏的金屬密封,適合大部分氣體控制用。性能:快速的響應(yīng),響應(yīng)時(shí)間<2
產(chǎn)品說明
Aera® FC-7800 系列MFC提供精確的流量控制以極佳的抗阻性能和超高防漏的金屬密封,適合大部分氣體控制用。
性能:
快速的響應(yīng),響應(yīng)時(shí)間<2秒.
無與倫比的可靠性——一年零漂移不到滿標(biāo)度流量的0.5%
易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸
出色的效果——優(yōu)質(zhì)的薄膜特性
特點(diǎn):
耐腐蝕性,流量范圍從10sccm-200slm
VCR® 、VCO®及 Swagelok®共容性連接
全金屬密封
常關(guān)或常開的電磁控制閥
泄漏率1 x 10-10 atm-cc/sec of He
ALTA®系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
- ALTA® 1480A/180A數(shù)字質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器,滿量程范圍從10 sccm– 30 slm。
- ALTA® MC20A數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從20 – 300 slm。
- MASS-FLO®系列金屬密封質(zhì)量流量控制器
- 1479A/179A質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器,其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm,各種模擬和數(shù)字通訊口可選。
- M330B低壓質(zhì)量流量控制器,其滿量程范圍從5–100 sccm
- M330H高溫型(150℃)質(zhì)量流量控制器,其滿量程范圍從10sccm – 40 slm
MASS-FLOW®系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
- 1179A/2179A質(zhì)量流量控制器/帶截至閥質(zhì)量流量控制器,其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm,模擬和數(shù)字通訊口可選。
- M100B/M10MB質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器,其滿量程范圍從10 sccm–50 slm
- 1559A/558A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器,其滿量程范圍從20– 200 slm
- 1579A/579A大流量質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量監(jiān)視器,其滿量程范圍從50 – 300 slm
全線代理美國美國MKS的系列產(chǎn)品:
等離子體電源及反應(yīng)氣體發(fā)生器Power & Reactive Gas
真空技術(shù)Vacuum Technology
流量測量及控制Flow Measurement & Control
壓力測量及控制Pressure Measurement & Control
氣體分析Gas Analysis
控制信息與技術(shù)Control Information & Technology
超小型檢漏儀Leak Detector
校準(zhǔn)系統(tǒng)Calibration
電離化與工業(yè)靜電控制Ionization & Industrial Static Control
集成子系統(tǒng)Integrated Subsystems
醫(yī)用電子系統(tǒng)Medical Electronics
生物醫(yī)藥應(yīng)用Biopharmaceutical
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