吸入、食入對眼和呼吸道粘膜有強烈刺激作用。高濃度下，會引起角膜混濁、呼吸道炎癥，甚至肺水腫，并可伴有頭昏、頭痛、乏力、惡心、嘔吐、心慌等癥狀。濺在皮膚上，可引起壞死、潰瘍，長期不愈。

　　氯硅烷急救措施

　　皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用流動清水沖洗15分鐘以上。若有灼傷，就醫(yī)治療。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用流動清水沖洗15分鐘或用2%碳酸氫鈉溶液沖洗。吸入：脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。注意保暖，保持呼吸道通暢。必要時進行人工呼吸。就醫(yī)。食入：患者清醒時立即漱口，給飲牛奶或蛋清，立即就醫(yī)。

　　氯硅烷泄漏處理

　　疏散泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，禁止無關(guān)人員進入污染區(qū)，建議應(yīng)急處理人員戴自給式呼吸器，穿化學防護服。不要直接接觸泄漏物，勿使泄漏物與可燃物質(zhì)(木材、紙、油等)接觸，在確保安全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(fā)(或擴散)，但不要對泄漏物或泄漏點直接噴水。將地面灑上蘇打灰，然后用大量水沖洗，經(jīng)稀釋的洗水放入廢水系統(tǒng)。如果大量泄漏，不用水處理，在技術(shù)人員指導下清除。