四探針電阻率/方阻測試儀( 靈敏度：10μV)

特點介紹 CN61M/KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀（以下

東方化玻（北京）科技有限公司成立于 2014 年，是實驗設(shè)備、平臺綜合解決方案提供商。公司為國內(nèi)企事業(yè)單位 提供高品質(zhì)儀器儀表，實驗設(shè)備以及整體解決方案。 公司與國內(nèi)外多家世界生產(chǎn)商已建立長期合作關(guān)系。公司經(jīng)營產(chǎn)品廣泛，靈活滿足不同事業(yè)單位和企業(yè)客戶的差異化需求 以及快速創(chuàng)新的追求，產(chǎn)品故障率低，維護(hù)成本小，性能優(yōu)異，售后服務(wù)完善。公司產(chǎn)品在行業(yè)內(nèi)均擁有持續(xù)的應(yīng)用歷史并 經(jīng)過市場實際應(yīng)用檢驗。 堅持以持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新為客戶不斷創(chuàng)造價值為經(jīng)營理念，公司在產(chǎn)品研發(fā)方面投入比例逐年遞增，目前自主研發(fā)并投入市場 的產(chǎn)品已達(dá)十余種，長期以來，公司一直按照標(biāo)準(zhǔn)，搭建實驗室平臺，構(gòu)建高品質(zhì)、高標(biāo)準(zhǔn)、持續(xù)創(chuàng)新的發(fā)展體系。 堅持穩(wěn)步發(fā)展的管理理念，不斷刷新自己在業(yè)內(nèi)的記錄。

特點介紹
CN61M/KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的度）適時監(jiān)測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，及時掌控測量電流。主機(jī)還提供度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。了儀器測量電阻率的重復(fù)性和度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾，無強(qiáng)光直接照射
（6）重量、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度） 
技術(shù)指標(biāo)
CN61M/KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的度）適時監(jiān)測程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，及時掌控測量電流。主機(jī)還提供度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。了儀器測量電阻率的重復(fù)性和度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾，無強(qiáng)光直接照射
（6）重量、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度） 

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