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射頻磁控濺射鍍膜裝置可開設的實驗

發(fā)布時間:2015-05-25瀏覽次數(shù):1356返回列表

 射頻磁控濺射鍍膜裝置可開設的實驗:

1、掌握射頻磁控濺射法制膜的基本原理;

2、了解磁控濺射鍍膜儀的操作過程及使用范圍;

3、磁控濺射法制備金屬膜、半導體膜、化合物膜、介質(zhì)膜等薄膜