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自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率
發(fā)布時間：2016-03-14瀏覽次數(shù)：2166返回列表
自動橢圓偏振測厚儀/橢圓偏振測厚儀/測厚儀 型號：TP-TPY-2
產(chǎn)品特點：
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
規(guī)格與主要技術(shù)指標：
測量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10
測量小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步進角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180°
測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005
儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
光學(xué)中心高度：80mm
成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計算機）
主機重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
裝箱單
|
序號 |
名 稱 |
規(guī)格或型號 |
數(shù)量 |
備 注 |
|
1 |
自動橢圓偏振測厚儀主機 |
TP-TPY-2 |
1臺 |
|
|
2 |
主機電控箱 |
TP-TPY-2 |
1臺 |
|
|
3 |
Q9連接線 |
1根 |
||
|
4 |
數(shù)據(jù)連接線 |
1根 |
||
|
5 |
電源線 |
2根 |
||
|
6 |
15線連接電纜 |
1根 |
||
|
7 |
USB連接電纜 |
1根 |
||
|
8 |
二氧化硅膜樣片 |
1張 |
||
|
９ |
軟件安裝盤 |
TP-TPY-2 |
1張 |
|
|
10 |
使用說明書 |
TP-TPY-2 |
1份 |
|
|
11 |
裝箱單 |
TP-TPY-2 |
1份 |
|
|
12 |
產(chǎn)品合格證 |
TP-TPY-2 |
1份 |
