NGZL-203四質(zhì)譜計(jì)_四桿質(zhì)譜儀功能介紹：

四質(zhì)譜計(jì)是在高真空條件下，離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。離子進(jìn)入四過濾器按不同質(zhì)荷比分離，采集離子流，放大后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，獲得相應(yīng)的質(zhì)譜數(shù)據(jù)。四質(zhì)譜計(jì)可安裝在使用者的高真空設(shè)備上進(jìn)行殘氣分析，亦可配備適當(dāng)?shù)母哒婵障到y(tǒng)和進(jìn)樣裝置作為的分析儀器使用。離子流采集的常規(guī)結(jié)構(gòu)為法拉弟筒 / 通道倍增器復(fù)合式（即 FC/CEM ）。離子流放大器的輸入高阻設(shè)為10M Ω ，1G Ω，100G Ω 三擋，采用電子倍增器方式時一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)適用于WindowsXP或 Windows2000，儀器提供模擬譜圖，棒狀譜圖和多達(dá)10個離子的多離子監(jiān)測譜圖。數(shù)據(jù)系統(tǒng)的接口界面由80C 196單片機(jī)（16位）以及 A/D、D/A 等構(gòu)成， RS232 串口與電腦通訊實(shí)現(xiàn)儀器的控制與數(shù)據(jù)處理。儀器安裝方便，操作簡單，四質(zhì)譜計(jì)應(yīng)用與真空科學(xué)、電子、半導(dǎo)體工業(yè)、石油化工的催化研究等多種領(lǐng)域。另外，本儀器可以派生為儀器，如，已用于計(jì)量作為鑒定分子漏孔的氦四質(zhì)譜計(jì)。

四桿質(zhì)譜儀指標(biāo)：

范圍：1-100u，1-200u，1-300u

靈敏度：1×10^-1A/Pa (對 N--2 ，帶CEM)

分辨率：△m＜1（ 10% 谷）

峰位穩(wěn)定性： ±0.4u/4h

掃描速度： 100ms-30s/u

檢測器： FC，F(xiàn)C/CEM，或FC/MCP（FC-法拉弟筒， CEM 通道倍增器MCP-微通道板）

工作壓強(qiáng)：1×10^-2Pa

烘烤溫度：300 ℃

接口法蘭： CF50，CF63

電子單元尺寸：240×150×150mm

四探頭伸入真空腔尺寸：

1-100u：φ 70x180mm

1-300u：φ 70x250mm