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少子壽命測試儀的點講解
發(fā)布時間：2016-06-12瀏覽次數(shù)：1499返回列表
少子壽命測試儀，是款硅片少子壽命測試儀，不僅適用于硅片少子壽命的測量，更適用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶等多種不規(guī)則形狀硅少子壽命的測量。
1.測試范圍廣：包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命測量。
2.主要應(yīng)用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅塊、硅片的廠、出廠檢查，生產(chǎn)工藝過程中重金屬沾污和缺陷的監(jiān)控等。
3.適用于低阻硅料少子壽命的測量，電阻率測量范圍可達ρ＞0.1Ω?cm（可擴展至0.01Ω?cm），全解決了微波光電導(dǎo)無法檢測低阻單晶硅的問題。
4.全程監(jiān)控動態(tài)測試過程，避免了微波光電導(dǎo)（u-PCD）無法觀測晶體硅陷阱效應(yīng)，表面復(fù)合效應(yīng)缺陷的問題。
5.貫穿深度大，達500微米，相比微波光電導(dǎo)的30微米的貫穿深度，真正體現(xiàn)了少子的體壽命的測量，避免了表面復(fù)合效應(yīng)的干擾。
6.業(yè)定制樣品架大程度地滿足了原生多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)測試多種形狀的硅材料少子壽命的要求，包括硅芯、檢磷棒、檢硼棒等。
7.，價格遠低于外外少子壽命測試儀產(chǎn)品，大程度地降低了企業(yè)的測試成本。
